單晶矽(多晶矽)提純工藝研究分析及改進

2025-06-05 16:05:12 字數 3068 閱讀 1982

多晶矽還原工藝簡述怎麼寫?

1樓:翊

多晶矽還原是製備單晶矽的關鍵工藝之一。其主要流程如下:敬哪。

1. 原料準備:採用高品質的多晶矽(si)塊或片,經過清潔、研磨和酸洗等工序,確保其純度和表面質量。

2. 化學反應還原:多晶矽材料與還原劑在高溫下在還原反應釜灶謹中反應。

還原劑通常採用三氯化矽(sicl3)和氫氣(h2),反應生成氣態的矽氫化物(sih4)和氫氣。化學反應還原必須在高純氫氣的保護氣氛下進行,以防止還原劑和矽受到氧化。

3. 單晶種子引入:在化學反應反應後,需要引入一片單晶矽作為種子晶體。通過在種子晶體表面生長新的矽原子組成單晶,實現多晶矽向單晶矽的轉變。

4. 單晶生長:將反應爐溫度公升高到合適的溫度,使反應體內的矽沸騰,產生矽蒸氣。

開始用工業矽單晶棒(seed rod)激發生長。單晶生長的過程中,需要控制溫度、氣壓、晶體生長速度、晶體生長細度、晶體方向等因素,以獲得高亮辯碼質量的單晶矽。

總的來說,多晶矽還原工藝是製備單晶矽的複雜工藝,需要在恰當的溫度、壓力、氣氛和過程式控制制下進行。多晶矽還原工藝是製備單晶矽的先決條件,對於單晶矽光伏和半導體領域的應用具有重要的意義。

多晶矽提純重要嗎

2樓:小羊揚帆起航

多晶矽提純是重要裂消的。但這項技術我們現在還沒有掌握。

高純度的多晶矽可以用於二極體級、整流器件級、電路級以及太陽能電池級單晶產品的生產和深加工製造,其後續產品積體電路和半導體分離器件已廣泛應用於各個廳腔領域,在軍事電子裝置中也佔有重要地位。

提純過程中,有一項「西門子法」的關鍵技術我國還沒有掌握,由於沒有這項技術,我國在提煉過程中70%以上的多晶扮源衫矽都通過氯氣排放了,提煉成本高的同時,環境汙染也非常嚴重。

生產單晶矽的直接原料

3樓:

單晶矽的塌判製法通常是先製得多晶矽或無定形矽,然後用直拉法或懸浮區熔法從熔體中生長出棒狀單晶矽。單晶矽棒是生產單晶矽片的原材料。最後的產品就是單晶矽片,用於半導體技術。

多晶矽和無定形矽的製取不是什麼太大的問題(原料二氧化矽比較好找,砂礫主顫局要成分就是二氧化矽),主要問題在於提純。需要製取單晶矽的多晶原料純度必須在以上才行。一般工業製取提純的高純矽純團洞改度只有99%,一般會通過區域性熔融法制取更高純度的矽。

電子級單晶矽的製備方法

4樓:棺人燭酒

製備電子級單晶矽的常見方法是通過czochralski法(cz法)或區熔法(float zone method)。

1. czochralski法(cz法):

首先,取一塊高純度的多晶矽作為種子晶體,並將其放在熔融矽熔體上。

然後,緩慢提公升溫度,使熔體在種子晶體上結晶生長。晶體被拉昇出熔體,形成單晶矽柱。

在拉昇的過程中,控制溫度梯度和拉昇速度,以獲得所需的晶體質量和尺寸。

最後,對獲臘含得的單晶矽進行切割、拋光等加工工藝,得到電子級單晶輪慶笑矽片。

2. 區熔法(float zone method):

首先,取一根高純度的多晶矽棒,將其部分加熱熔融。

在熔融區域與非熔融區域之間建立一定的溫度梯度。

通過移動熔融區域和非熔融區域之間的介面,使熔融區域逐漸向前移動。

在介面上結晶生長的矽在非熔融區域中逐漸凝固,形成單晶矽。

根據需要,可以重複區熔過程多次,以提高單晶矽的純度和質量。差純。

最後,對獲得的單晶矽進行切割、拋光等加工工藝,得到電子級單晶矽片。

這些方法需要高純度的矽原料和嚴格的工藝控制,以確保獲得電子級單晶矽,用於製備半導體器件和積體電路等高精度應用。製備過程中的純淨度要求非常高,以避免雜質的引入,影響材料的電學效能。

5樓:網友

電子級單晶矽的製備方法一般分為三個步驟:1、矽的製備;2、單晶矽的製備;3、電子級單晶矽的製備。

1、矽的製備:矽的製備方法有多種,其中比較常用的是通過三氯化矽(sicl3)和氫氣(h2)發生化學反應制備矽。首先將三氯化矽和氫氣混合,在高溫下進行化學反應,生成四氫化矽(sih4),然後將四氫化矽在高溫下分解成純度較高的矽。

2、單晶矽的製備:單晶矽是由純度極高的矽晶體生長而成的。製備單晶矽的方法主要有兩種:

czochralski法和分片法。czochralski法是將矽材料放入石襲裂殲英坩堝中,在高溫下熔化,然拍衝後通過旋轉和拉拔的方式,使矽晶體逐漸生長成為單晶。分片法則是將矽材料切成小片,然後將小片進行再結晶,生長成單晶。

3、電子級單晶矽的製備:電子級單晶源凳矽需要進一步提高矽的純度和晶體質量。在單晶矽生長的過程中,控制矽晶體生長的速率、溫度等引數,以保證晶體的純度和質量。

同時,對生長出的單晶矽進行加工處理,去除表面雜質和缺陷,進一步提高純度和質量,製備出電子級單晶矽。

6樓:網友

電子級單晶矽製備一般有以下步驟:

1. 製備多晶矽塊。將矽礦石通過冶煉和純化工藝製備成多晶矽塊,通常採用卡門法和碘氣法等方法。

2. 製備單晶矽。將多晶矽塊作為原料進行單晶生長。

原理是通過將多晶矽塊熔化後,在高溫高壓的條件下,通過單晶種子的移動,使單晶逐漸生長到所需尺寸和形狀。具體單晶生長方法主要有氣相輸送法(cz法)和浸沒法(fz法)兩種,前者較為常用。

3. 清洗和純化。通過物理、化學或機械處理,去除單晶矽表面和內部的不純物質,以達到電子級高純度單晶矽的要求。

4. 量產加工。將單晶矽進行切割、拋光,製成晶圓,為半導體器件的制餘叢卜造提供原材鄭雀料。

需要指豎穗出的是,電子級單晶矽高純度要求非常高,可以達到10的幾次方級別。因此以上步驟較為複雜,生產環節也相對較多,需要進行嚴格的控制和監測。

7樓:跑少了

電子級單晶矽是用於半導體器件製造的重要材料之一,其製備方法有幾種。其中最常用的是czochralski法,它通過在熔融矽中引入銅悔鏈春棒進行摻雜,然後在高溫下拉出單晶喚或錠。另一種方法是float-zone法碧耐,其原理是用純淨的單晶作為種子,通過浮區法在多晶矽中生長單晶。

此外,還有其他幾種方法,如鑄造法、電化學析出法等。這些方法各有優缺點,但無論哪種方法,都需要高度純淨的矽原材料和高精度的生長裝置才能得到高質量的電子級單晶矽材料。

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