1樓:網友
1、擴散矽壓力感測器的特點。
擴散矽壓力感測器譁慧銀其工作原理是被測介質的壓力直接作用於感測器的膜片上(不鏽鋼或陶瓷),使膜片產生與介質壓力成正比的微位移,使感測器的電阻值發生變化,和用電子線路檢測這一變化,並轉換輸出乙個對應於這一壓力的標準測量訊號。
2、應變片壓力感測器的特點。
力學感測器的種類繁多,如電阻應變片壓力感測器、高溫壓力感測器、半導體應高溫壓力變送器變片壓力感測器、壓阻式壓力感測器、電感式壓力感測器、電容式壓力感測器、諧振式壓力感測器及電容式加速度傳亂宴感器等。但應用為廣泛的是壓阻式壓力感測器,它具有極低的**和較高的精度以及較好的線性特性。
3、藍寶石壓力感測器的特點。
利用應變電阻式工作原理,採用矽- 藍寶石作為半導體敏感元件,具有*的計量特性。藍寶石系由單晶體絕緣體元素組成,不會發生滯後、疲勞和蠕變現象;藍寶石比矽要堅固,硬度更高,不怕形變;藍寶石有著非常好的彈性和絕緣特性(1000 oc 以內),因此,利用矽- 藍寶石製造的半導體敏感元件,對溫度變化不敏感,即使在高溫條件下,也有著很好的工作特性;藍寶石的抗輻射特碧卜性*;另外,矽- 藍寶石半導體敏感元件,無防爆壓力變送器p-n 漂移,因此,從根本上簡化了製造工藝,提高了重複性,確保了高成品率。用矽- 藍寶石半導體敏感元件製造的壓力感測器和變送器,可在惡劣的工作條件下正常工作,並且可靠性高、精度好、溫度誤差極小、價效比高。
4、陶瓷壓力感測器。
2樓:網友
擴散矽壓力感測器的特點 擴散矽壓力感測器其工作原理是被測介質的壓力直接作用於感測器的膜片上(不慶穗雀鏽鋼或陶瓷),使膜片產生與介質壓力成正比的微位移,使感測器的。
2. 應變片壓力感測器的特點 力學感測器的種類繁多,如電阻應變片壓力感測器、高溫壓力感測器、半導體應高溫壓力變送器變片壓族碰力感測器、壓阻式壓力感測器、電感式壓力感測器、電容式。
3. 藍寶石壓力譽早感測器的特點 利用應變電阻式工作原理,採用矽-
3樓:微笑是糖
穩耐爛定性好是矽電容感測器深受使用者好感的蔽伏主要原因之一。 指標先進 電容感測器本身具有小功率、高阻抗、靜電引力小、昌並漏可動質量小。
壓力微感測器有幾種機理,試比較各種機理微感測器的優缺點。
4樓:考試資料網
答案】:(1)壓力微感測器有3種機理:壓磨伏阻效應、電容效應、諧振效應。
2)壓阻效應壓力微感測器優瞎逗攜點:開環模式工作。
缺點:壓阻係數指梁隨溫度變化的改變明顯。
電容效應壓力微感測器優點:靈敏度高——高於壓阻式10倍以上;功耗低——低於壓阻式2個數量級;溫漂小——所以重複性和長期穩定性好。
缺點:必須具有很小的電容;必須具有很低的溫度漂移。
諧振效應壓力微感測器優點:直接輸出頻率量,無需a/d轉換,可與數字系統連線,組成高精度的測控系統;受電路引數(如電漂移、雜訊等)變化的影響很小,測量精度、穩定性及測量解像度均較好。
缺點:必須具有很高的機械品質因數q。
何謂半導體的壓阻效應?擴散矽感測器結構有什麼特點?
5樓:
何謂半導體的壓阻效應?擴散矽感測器結構有什麼特點?
親親壓電效應是壓電感測器的主要工作原理,壓電感測器不能用於靜態埋亮測量,因為經過外力作用後的電荷,只有在迴路具有無限大的消液行輸入阻抗時才得到儲存。實際的情況不是這樣的,所以這決定了壓電感測器只能夠測量動態的應力。 壓電感測器主要應用在加速度、壓力和力等的測量中拿譁。
壓電式加速度感測器是一種常用的加速度計。它具有結構簡單、體積小、重量輕、使用壽命長等優異的特點。
壓電式感測器是以某些介質的( )作為工作基礎的。
6樓:嗯哼
壓電式感測器是以某些介質的壓電效應作為工作基礎的。
一、原理:是基於某些個質材料的壓電效應,是典型的有源感測器。當材料受力作用而變形時,其表面會有電荷產生,從而實現非電量測量。
二、壓電效應:
某些電介質,當沿著一定方向對其施力而使它變形時,其內部就產生極化現象,同時在它的兩個表面上便產生符號相反的電荷,當外力去掉後,其又重新恢復到不帶電狀態。
三、壓電引數:
1、壓電常數是衡量材料壓電效應強弱的引數,它直接關係到壓電輸出的靈敏度。
2、壓電材料的彈性常數、剛度決定著壓電器件的固有頻率和動態特性。
3、對於一定形狀、尺寸的壓電元件,其固有電容與介電常數唯皮有關;而固有電容又影響著壓電感測器的頻率下限。
4、在壓電效應中,機械耦合係數等於轉換輸出能量與輸入的能量之比的平方根;它是衡量壓電材料機電能量轉換效率的乙個重要引數。
5、壓電材料的絕緣電阻將減少電荷洩漏,從而改善壓電感測器的低頻特性。
6、壓電材料開始喪失壓電特性的溫度稱為居里指毀差點溫度。
壓電感測器的特性:
1、是一種自發電式和機電轉換式感測器。
2、它的敏感元件由壓電材料製成。
3、壓電材料受力後表面產生電荷。
4、此電荷經電荷放大器和測量電路放大和變換阻抗後就成為正比於所受外力的電量輸出。
5、壓電式感測器用於測量力和能變換為力的非電物理量。
6、頻頻寬、靈敏度高、訊雜比高、結構簡單、工作可靠和重量輕等。
7、配套儀表和低雜訊、小電容、高絕緣電阻電纜的出現,使餘旅壓電感測器的使用更為方便。
8、能應用於工程力學、生物醫學、電聲學等技術領域。
矽壓阻式壓力感測器的組成部分
7樓:濰共昳
矽壓阻式壓力感測器都由3個基本部分組成(圖:①基體,直接承受被測應力;②波紋膜片,將被測應力傳遞到晶元;③晶元,檢測被測應力。晶元是在矽彈性膜片上,用半導體制造技術在確定晶向製作相同的4個感壓電阻,將他們連成惠斯通電橋構成了基本的壓力敏感元件。
膜片即是力敏電阻的襯底,又是外加應力的承受體,所以是壓力感測元件的核心部分。在矽膜片上的背面要用機械或化學腐蝕的方法加工成中間很薄的凹狀,稱為矽杯,在它的正面製作壓阻全橋。如果矽杯是圓形的凹坑,就稱為圓形膜片。
膜片還有方形、矩形等多種形式。當存在外加應力時,膜片上各處受到的應力是不同的。4個橋臂電阻在模板上的位置與方向設定要根據晶向和應力來決定。
膜片的設計和製作決定了感測器的效能及量程。圖所示的是一種充油封裝結構,在感測器的波紋膜片及晶元之間填充了矽油,這種結構的壓力感測器目前已相當成熟。量程為0~100kpa至0~60mpa,工作溫度為-55℃~125℃,精度為;能夠實現表壓、絕壓測量。
矽壓阻式壓力感測器的另一種封裝形式是將矽應變片用於玻璃粉直接燒結在金屬膜片上,構成燒結型壓力感測器。由於該感測器的結構特點,能夠將彈性原件與被測介質直接接觸,易於小型化,適於動態壓力測量。該感測器量程從0~100kpa至0~80mpa,工作溫度為-55℃~125℃,精度為。
固有頻率從幾千赫到幾百赫,可用於氣流模型試驗、**壓力測試和發動機動態測量。
求擴散矽壓力感測器的特點?
8樓:鎮歆赫連致萱
是運用半導體單晶矽。
材料的壓阻效應,採用積體電路工藝制型皮成晶元而製成的一種感測器。這種感測器的晶元是由四個力敏電阻組成的惠斯登電橋。
當壓力作用時,電橋產生不平衡輸出δu,δu與壓力作用的大小成正比,從而完成壓力→點的轉換。擴散矽壓力感測器與其它原理種類的感測器比較具有如下特點:
1.適合製作小量程的感測器。矽晶元的這種力敏電阻的壓阻效應在零點巨集念附近的低量程段無死區,製作壓力感測器的量程可小到蔽租困幾個kpa。
2.輸出靈敏度高。矽應變電阻的靈敏因子比金屬應變計高50~100倍,故相應的感測器的靈敏度就很高,一般量程輸出為100mv左右。因此對介面電路無特殊要求,使用比較方便。
3.精度高。由於感測器的感受、敏感轉換和檢測三部分由同乙個元件實現,沒有中間轉換環節,重複性。
和遲滯誤差較小。由於單晶矽本身剛度很大,變形很小,保證了良好的線性。
4.由於工作單性形變低至微應變數量級。
彈性晶元最大位移在亞微公尺數量級,因而無磨損,無疲勞,無老化,壽命長達1×103壓力迴圈,效能穩定,可靠性高。
5.由於矽的優良化學防腐效能,即使是非隔離型的擴散矽壓力感測器,也有相當程度的適應各種介質的能力。
6.由於晶元採用整合工藝,又無傳動部件,因此體積小,重量輕。
擴散矽壓力感測器除了在金屬應變、扭矩、位移、稱重、測力等物理量。
不適合測量控制外,廣泛用於氣體和不結晶液體的表壓、負壓、差壓、絕壓的測量與控制。
矽壓力感測器晶元的運用領域?及一些特色是什麼?
9樓:
應用:1汽車輪胎壓力監測 2發動機控制 3大氣壓力測量 4空壓表 5手執壓力計。
特色:①固態、mems技術、高可靠性 ②低成本、小尺寸 ③標準壓力範圍:0-100kpa; 0-700kpa
非線性 < 矽/矽鍵合晶元,穩定性好。
10樓:網友
主要還是用做變送器的多!
使用擴散矽式壓力感測器應注意什麼
11樓:員齊海津
1、溫度補償,擴散矽式壓力感測器是半導體,半導體具有很強的溫度特性,沒有溫度補償,測量誤差可能會比較大。
2、擴散矽式壓力感測器感測膜片只有幾十絲公尺厚,千萬不能觸碰。
3、供電電壓要穩定,感測器內部實際就是乙個電橋,供電電壓波動會引起橋路輸出變化,影響測量精度。
4、要在晌芹額定電壓內使用,過壓會導致感測器損壞。
5、輸出端不要短路。
此外,在封裝壓力感測器時應注意以下5項:
安裝芯體時,要特別注意不得觸控芯體的膜片,避免造成感測器效能引數的偏。
移、感測器的失效。
不能擠壓芯體上的陶瓷線路板,或在殼體內填充隨外界環境(如溫度等)影響。
體積增大的物質敗謹態,以避免陶瓷厚膜電路的損壞。
不能將芯體的引線和引腳反覆來回扳動,更不能用力拉扯,以避免感測器管腳。
斷裂或管腳的鬆脫。
感測器往基座內推裝時,若推進費力或難以推進時,應立即察源停止,決不能強行。
再推,以避免損壞感測器。
芯體應注意避免碰、摔、磕。
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